Revêtements de creuset à faisceau d'électrons
Les sources de dépôt par faisceau d'électrons sont équipées d'un filament d'élément thermique pour l'émission d'électrons, d'électro-aimants pour façonner et positionner le flux d'électrons, et d'un four en cuivre refroidi à l'eau de conception appropriée pour accueillir le matériau source à déposer. De nombreux matériaux réagissent de manière destructrice avec ces fours à cuivre aux températures généralement rencontrées lors du dépôt sous vide. Pour éviter toute interaction thermique avec le foyer en cuivre et assurer une répartition uniforme de la chaleur dans le matériau source, il est souvent avantageux d'utiliser un revêtement de foyer lors du dépôt par faisceau d'électrons.
Ces plots peuvent être fabriqués dans une variété de formes et de tailles pour s'adapter à toutes les sources de faisceaux électroniques disponibles dans le commerce. La composition du revêtement est soigneusement adaptée au matériau déposé afin de minimiser les interactions chimiques génératrices de chaleur et de maximiser la stabilité thermique du processus d'évaporation.
Nous pouvons fournir des revêtements de creuset pour l’évaporation par faisceau d’électrons. Disponible en différents matériaux et tailles pour s'adapter aux canons électroniques de différents fabricants. Veuillez nous contacter pour plus de détails et devis.
Nous produisons également des creusets thermiques et des creusets HTE/LTE dans une variété de matériaux.
Heure de publication : 02 août 2023