Comment fonctionne la pulvérisation magnétron ?
La pulvérisation magnétron est une méthode de dépôt physique en phase vapeur (PVD), une classe de procédés de dépôt sous vide pour la production de films minces et de revêtements.
Le nom « pulvérisation magnétron » provient de l'utilisation de champs magnétiques pour contrôler le comportement des particules d'ions chargés dans le processus de dépôt par pulvérisation magnétron.Le processus nécessite une chambre à vide poussé pour créer un environnement à basse pression pour la pulvérisation.Le gaz qui comprend le plasma, typiquement du gaz argon, entre en premier dans la chambre.
Une tension négative élevée est appliquée entre la cathode et l'anode pour initier l'ionisation du gaz inerte.Les ions argon positifs du plasma entrent en collision avec le matériau cible chargé négativement.Chaque collision de particules à haute énergie peut provoquer l'éjection d'atomes de la surface cible dans l'environnement sous vide et leur propulsion sur la surface du substrat.
Un champ magnétique puissant produit une densité de plasma élevée en confinant les électrons près de la surface cible, en augmentant la vitesse de dépôt et en évitant d'endommager le substrat par bombardement ionique.La plupart des matériaux peuvent servir de cible pour le processus de pulvérisation car le système de pulvérisation magnétron ne nécessite pas de fusion ou d'évaporation du matériau source.
Paramètres du produit
Nom des produits | Cible en titane pur |
Noter | Gr1 |
Pureté | Plus 99,7% |
Densité | 4.5g/cm3 |
MOQ | 5 pièces |
Taille de vente chaude | Φ95*40mm Φ98*45mm Φ100*40mm Φ128*45mm |
Application | Revêtement pour machine PVD |
Taille des stocks | Φ98*45mm Φ100*40mm |
Autres cibles disponibles | Molybdène (Mo) Chrome(Cr) TiAl Cuivre(Cu) Zirconium(Zr) |
Application
■Revêtement de circuits intégrés.
■Affichages de panneaux de surface d'écrans plats et d'autres composants.
■Décoration et revêtement de verre, etc.
Quels produits pouvons-nous produire
■Cible plate en titane de haute pureté (99,9 %, 99,95 %, 99,99 %)
■Connexion filetée standard pour une installation facile (M90, M80)
■Production indépendante, prix abordable (qualité contrôlable)
Informations sur la commande
Les demandes de renseignements et les commandes doivent inclure les informations suivantes :
■ Diamètre, hauteur (comme Φ100*40mm).
■ Taille du filetage (comme M90 * 2 mm).
■ Quantité.
■ Exigence de pureté.